Фото: «Техмаш»
Научно-исследовательский институт электронных приборов, входящий в контур управления холдинга «Технодинамика» Госкорпорации Ростех – управляющей организации НПК «Техмаш», ввел в промышленную эксплуатацию новое контрольно-аналитическое оборудование.
Измерение толщины и анализ состава гальванических и электролитических покрытий теперь происходит в режиме неразрушающего анализа. Высокопроизводительный рентгенофлуоресцентый анализатор от ведущего мирового производителя стал частью технологической цепочки производственного комплекса НИИЭП. Новое оборудование применяется специалистами института для оперативного анализа толщины и состава многослойных покрытий, элементного анализа материалов, в том числе на образцах исчезающе малого размера.
«При применении в промышленной эксплуатации нового аналитического оборудования в НИИЭП достигнут следующий технологический результат: получен устойчивый неразрушающий контроль толщины многослойных покрытий на любых основаниях. Это позволило увеличить скорость контроля качества элементов для микроэлектроники и повысить производительность труда до 15% на отдельных операциях», – отметил руководитель института Сергей Жиров.
«Рентгенофлуоресцентный анализатор – это высокотехнологичный прибор для измерения толщины покрытий на различных основаниях. Благодаря специальной технологии обнаружения он также может определять химический состав анализируемого образца», – пояснил заместитель генерального директора НИИЭП по производству Дмитрий Лысов.
Введенное в промышленную эксплуатацию оборудование позволяет измерять толщину одновременно до пяти слоев, при этом любые из двух слоев могут быть сплавами.
